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ZYGO干涉仪是一种高精度测量设备,广泛应用于光学、精密机械等领域。本文概述了不同型号的ZYGO干涉仪及其特点,重点介绍了它们在表面形貌测量、光学元件检测以及纳米级精度加工等方面的应用。这些干涉仪以其高分辨率、高稳定...