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摘要:微细加工技术正迎来飞速发展的时代,其发展趋势表现为更高的精度、更高的效率和更低的成本。随着纳米技术的不断进步,微细加工技术正朝着微型化、高精度化和智能化方向发展。其在集成电路、生物医学、光学等领域的应用日益广泛...